在半導(dǎo)體晶圓廠的潔凈室里

一輛輛承載著

價(jià)值千萬晶圓的磁驅(qū)“天車”

在空中軌道上輕盈穿梭

成為芯片誕生過程中

最獨(dú)特的風(fēng)景線

在即將召開的全球規(guī)模最大的半導(dǎo)體專業(yè)展覽會(huì)SEMICON China上，位于南京江寧開發(fā)區(qū)的專精特新“小巨人”企業(yè)——江蘇道達(dá)智能科技有限公司將放出“大招”:攜最新研發(fā)的第二代半導(dǎo)體磁驅(qū)天車“騰龍”亮相。公司董事長(zhǎng)孫俊杰透露，首臺(tái)套磁驅(qū)天車“騰龍”預(yù)計(jì)于今年6月份交付使用。

一片晶圓要在幾百臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備間流轉(zhuǎn)

經(jīng)過成百上千道工序

才會(huì)誕生數(shù)百顆指甲蓋大小的芯片

傳輸過程中

任何污染物或顛簸都可能導(dǎo)致晶圓損壞

從而影響芯片的產(chǎn)出率和質(zhì)量

自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)就成為半導(dǎo)體制造工廠中不可或缺的高科技物流系統(tǒng)，它通過快速精準(zhǔn)搬運(yùn)物料載體，突破了傳統(tǒng)人力搬運(yùn)在機(jī)臺(tái)間的效率瓶頸，而“天車”就是這套系統(tǒng)中的核心設(shè)備。

過去很長(zhǎng)一段時(shí)間里，半導(dǎo)體的天車市場(chǎng)，大多采用國(guó)外的系統(tǒng)和技術(shù)?！爸挥邪押诵募夹g(shù)掌握在我們自己手上，才能真正為產(chǎn)業(yè)、為客戶更好地解決問題?！睂O俊杰對(duì)公司的長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展有著清晰的認(rèn)識(shí)。

從2017年開始，道達(dá)就瞄準(zhǔn)天車控制系統(tǒng)，從軟件入手，再到具體軌道的車輪磨損、滑軌材料、供電方式，進(jìn)行全部自研。幾年來，道達(dá)積累了大量的發(fā)明專利，成功開發(fā)出國(guó)產(chǎn)首套5.3米/秒高速天車系統(tǒng)，打破了國(guó)外長(zhǎng)達(dá)20多年的壟斷，成為目前國(guó)內(nèi)唯一通過自研實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的天車系統(tǒng)廠商。

如今，公司在第一代旋轉(zhuǎn)伺服天車“麒麟”的基礎(chǔ)上，持續(xù)攻克技術(shù)難題，成功研制出磁驅(qū)天車“騰龍”，該產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵零部件100%國(guó)產(chǎn)化。與第一代產(chǎn)品相比，“騰龍”采用了自主研發(fā)的磁懸浮無接觸驅(qū)動(dòng)技術(shù)，運(yùn)輸過程中實(shí)現(xiàn)零磨損、零粉塵，從根本上解決潔凈度問題，同時(shí)實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的精準(zhǔn)定位。

不僅如此，第二代產(chǎn)品還裝上了“最強(qiáng)大腦”——配備了自主研發(fā)的三層智能調(diào)度系統(tǒng)，通過AI算法進(jìn)行預(yù)測(cè)行為和故障自愈，實(shí)現(xiàn)一個(gè)后臺(tái)管理千臺(tái)設(shè)備。

“經(jīng)過測(cè)試，‘騰龍’的直行速度已經(jīng)從一代產(chǎn)品的5.3米/秒提高到6米/秒，定位精度提升到plusmn;0.5毫米，振動(dòng)降至0.25g，這意味著新一代天車更快、更穩(wěn)、更精準(zhǔn)?！?孫俊杰表示。

“當(dāng)初選擇將公司搬遷至南京江寧，很大程度上是看中了這里豐富的高校資源?！睂O俊杰說，企業(yè)高速發(fā)展的這幾年，道達(dá)與東南大學(xué)、南京航空航天大學(xué)、河海大學(xué)等高校保持著緊密的合作。其中，2020年公司與東南大學(xué)共建了南京東道電子裝備研究院，就此展開了一系列“天車”核心技術(shù)的研究。2025年，道達(dá)還榮獲了國(guó)家專精特新“小巨人”企業(yè)的稱號(hào)。

在道達(dá)公司大廳的墻壁上，清晰地展示著公司的發(fā)展歷程和未來規(guī)劃，“2026年，AMHS產(chǎn)品‘飛天’系列發(fā)布、開始半導(dǎo)體領(lǐng)域海外布局……”從打破壟斷到走向世界，南京這輛“車”的下一站，是更廣闊的全球賽道，創(chuàng)新的故事永遠(yuǎn)未完待續(xù)。

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