南方財(cái)經(jīng)記者高慧超 通訊員袁正江 佛山報(bào)道

9月30日，佛山市與ABM, Inc. Asia Pacific Ltd.簽訂合作協(xié)議，廣東唯一的光刻機(jī)量產(chǎn)項(xiàng)目——年產(chǎn)百臺(tái)套光刻機(jī)及先進(jìn)封裝核心設(shè)備生產(chǎn)基地項(xiàng)目落戶佛山。

ABM總部位于中國(guó)香港，深耕半導(dǎo)體光刻設(shè)備領(lǐng)域逾20年，掌握超過(guò)2000項(xiàng)光刻機(jī)關(guān)鍵零部件的專有技術(shù)。截至目前，ABM已向全球超300家客戶累計(jì)交付近1000臺(tái)設(shè)備，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路前道制造、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域。

ABM佛山項(xiàng)目擬選址佛山市順德區(qū)北滘鎮(zhèn)，計(jì)劃打造全球領(lǐng)先的集高端設(shè)備制造、尖端研發(fā)和中試功能于一體的光刻機(jī)及先進(jìn)封裝核心設(shè)備生產(chǎn)基地，首期將建設(shè)光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備及晶圓鍵合機(jī)等核心設(shè)備生產(chǎn)基地，規(guī)劃三年內(nèi)實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)百臺(tái)套的目標(biāo)。

值得一提的是，項(xiàng)目從初步接觸到正式簽約僅用時(shí)三個(gè)月。“佛山政府的行動(dòng)效率、對(duì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的渴望和對(duì)產(chǎn)業(yè)的深刻理解，都讓我印象深刻。”ABM公司董事長(zhǎng)吳玷說(shuō)，佛山作為粵港澳大灣區(qū)重要的制造基地，擁有深厚的工業(yè)基礎(chǔ)和成熟的精密制造能力，尤其在機(jī)械加工、光學(xué)元件、控制系統(tǒng)等領(lǐng)域具備深厚積累，與光刻機(jī)等高精度裝備的制造需求高度契合，“我們希望借助佛山作為內(nèi)地與港澳合作‘橋頭堡’的區(qū)位優(yōu)勢(shì)，利用ABM擁有的國(guó)際化合作資源，推動(dòng)技術(shù)、資本、人才的跨境流動(dòng)，形成國(guó)際化合作和國(guó)產(chǎn)化融合的創(chuàng)新路徑?！?/p>

近年來(lái)，佛山將半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)作為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)培育，已初步構(gòu)建起覆蓋材料、設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)、裝備等環(huán)節(jié)的完整產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)。截至目前，全市集聚規(guī)模以上半導(dǎo)體企業(yè)336家，產(chǎn)業(yè)規(guī)模突破900億元，廣東先導(dǎo)稀材光芯片項(xiàng)目、藍(lán)箭電子芯片封測(cè)基地等一批重大項(xiàng)目相繼落地，形成“鏈主引領(lǐng)、多點(diǎn)支撐”的發(fā)展格局。

佛山市相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，此次引入ABM項(xiàng)目，是佛山進(jìn)一步實(shí)施“強(qiáng)鏈補(bǔ)鏈”戰(zhàn)略的關(guān)鍵舉措。項(xiàng)目落地后，有望帶動(dòng)本地精密加工、高端光學(xué)元件、智能控制系統(tǒng)等上下游配套協(xié)同發(fā)展，構(gòu)建“以裝備促制造、以制造帶研發(fā)”的良性循環(huán)。以項(xiàng)目落地為契機(jī)，佛山將積極招引高端半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)集聚發(fā)展，力爭(zhēng)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體光刻裝備產(chǎn)業(yè)五年內(nèi)規(guī)模達(dá)40億元、十年突破100億元的目標(biāo)，加快建設(shè)粵港澳大灣區(qū)半導(dǎo)體及集成電路研制重要基地。

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