，今天，北京華卓精科科技有限公司在科創(chuàng)板成功召開會議。

華卓精科的主營業(yè)務是超精密測控設備其產(chǎn)品包括精密運動系統(tǒng)，掩模對準器雙級模塊，靜電卡盤，晶圓級鍵合設備，激光退火設備等主要應用于集成電路制造，超精密制造，光學，醫(yī)療等行業(yè)

口罩對準器工作臺是口罩對準器中的三大核心部件之一，華卓精科是國內(nèi)第一家自主研發(fā)并實現(xiàn)口罩對準器雙工作臺商業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè)，也是國內(nèi)口罩對準器龍頭上海微電子的供應商。

目前，華卓荊軻的DWS系列雙級可用于65nm及以上節(jié)點的I線，KrF和ArF干掩模對準器，但尚未通過上海微電子的驗收。

日前，華卓精科上海市委會議延期上海市委現(xiàn)場詢問其口罩對準器雙工作臺的產(chǎn)業(yè)化前景，其技術(shù)研發(fā)是否依托清華大學，2019年，2020年四季度銷售收入較大

報告期內(nèi)，華卓精科營收呈增長趨勢，2018年，2019年，2020年營收分別為8570萬元，1.21億元，1.52億元。

本輪IPO中，華卓精科計劃募集資金7.35億元，將用于半導體設備關鍵元器件R&D及制造，長三角創(chuàng)新與R&D超精密測控產(chǎn)品中心，集成電路設備及元器件產(chǎn)品創(chuàng)新項目，掩模對準器中超精密位移測量與平面光柵測量技術(shù)研發(fā)四個項目。

華晶科募集資金用途。

華卓精科董事，核心技術(shù)人員，首席科學家朱昱為公司控股股東，實際控制人，實際控制股份比例為54.23%手稿顯示，朱昱是清華大學的長期教授，華卓精科的所有高管也都有清華背景

華卓精科的股權(quán)結(jié)構(gòu)。

會議稿顯示，華卓精科報告期內(nèi)營收持續(xù)增長，增速較快華卓精科2018年至2020年的營收分別為8570.92萬元，1.21億元和1.52億元2019年營收增長41.14%，2020年增長25.94%

凈利潤方面，華卓精科2018年，2019年，2020年凈利潤分別為1512.36萬元，2087.24萬元，1242.83萬元。

會議稿顯示，華卓精科營收快速增長主要得益于下游終端市場需求旺盛以及半導體設備國產(chǎn)替代趨勢的影響2020年，華卓精科凈利潤降幅較大，但管理費用，貸款利息，計提信用損失大幅增加

華卓精科2018年至2020年營收及凈利潤變動情況。

具體來說，華卓精科的營收構(gòu)成可分為三類:部分超精密測控設備，整體超精密測控設備及其他。

其中，超精密測控設備的組成部分主要包括精密運動系統(tǒng)及技術(shù)開發(fā)，掩模對準器雙工作臺模塊及技術(shù)開發(fā)，經(jīng)典卡盤及技術(shù)開發(fā)和隔振器超精密測控設備可分為晶圓級鍵合設備及技術(shù)開發(fā)和激光退火設備

根據(jù)會上的草案，口罩對準器中的雙工作臺技術(shù)很難發(fā)展2019年，上海微電子作為國內(nèi)唯一一家掩模對準器整機制造商，未完成合同內(nèi)容驗收，因此華卓精科業(yè)務收入為0

2018年至2020年，華卓精科各項業(yè)務收入比例發(fā)生變化。

就客戶而言，華卓精科的主要客戶是半導體等領域的企業(yè)，高?？蛻羰杖胂鄬^低中科飛策和上海微電子在報告期內(nèi)一直是華卓精科的前五大客戶

2018年至2020年，華卓精科前五大客戶的銷售收入占比

2018年至2020年，華卓精科從前五大供應商的采購總額占比分別為37.69%，29.41%和20.63%，呈下降趨勢2019年和2020年華卓精科的前五大供應商分別是翟倫達，Zygo Corporation和山東辛雷精密機械有限公司

華卓精科報告期內(nèi)前五大供應商。

2.該產(chǎn)品填補了國內(nèi)多項空白，口罩對準器兩個工作臺之間存在工藝差距。

對于掩模對準器市場，主要制造商是荷蘭的ASML，日本的尼康和佳能以及中國上海的微電子。

尼康和佳能主要采用內(nèi)部生產(chǎn)模式，即口罩對準器的主要子系統(tǒng)由整機廠開發(fā)生產(chǎn)早期ASML采用的是Out House生產(chǎn)模式，即只負責整機的設計和子系統(tǒng)的需求定義，子系統(tǒng)由第三方廠商生產(chǎn)2010年后，ASML開始設計自己的工作臺

會上指出，無論上述整機廠商采用何種R&D和生產(chǎn)模式，其工作臺都不會單獨銷售這也意味著華卓精科對于口罩對準器的國產(chǎn)替代更為重要

華卓晶科的DWS系列產(chǎn)品和ASML的干式深紫外口罩對準器雙工作臺，與ASML使用的口罩對準器雙工作臺相比，結(jié)構(gòu)相同，但性能有些落后華卓精科的浸沒式DWSi系列產(chǎn)品尚未開發(fā)，在極紫外領域，華卓晶科尚未推出產(chǎn)品

截至最新發(fā)布稿簽署，華卓精科DWS系列掩模對準器雙工件臺共交付4臺，目前仍處于與上海微電子掩模對準器集成測試階段。

，尚未通過上海微電子的最終驗收。

華卓精科光刻機雙工件臺與 ASML 所用工件臺對比

此外，在精密運動系統(tǒng)，晶圓級鍵合設備，激光退火設備，靜電卡盤等不同的市場，華卓精科還需要面對不同的國內(nèi)外競爭對手這些對手既有 Aerotech，應用材料，泛林半導體，東京電子，住友重工等國外巨頭，也有中微公司，長川科技，北方華創(chuàng)等國內(nèi)半導體設備廠商

相對來說，華卓精科存在融資渠道單一，品牌知名度較低，客戶資源較為劣勢等差距此外，華卓精科的晶圓級鍵合設備，激光退火設備等仍處于小批量定制生產(chǎn)階段，未實現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)，其光刻機雙工件臺也尚未通過下游客戶驗收在產(chǎn)線豐富度和產(chǎn)品性能上，華卓精科同樣和行業(yè)龍頭存在差距

華卓精科產(chǎn)品業(yè)務與行業(yè)龍頭差距以及產(chǎn)品量產(chǎn)情況

盡管華卓精科的產(chǎn)品和行業(yè)龍頭相比存在不少差距，但是由于該公司較為豐富的技術(shù)積累，其產(chǎn)品填補了多項國內(nèi)空白，促進了半導體制造設備和核心部件的國產(chǎn)替代進程。

截至 2021 年 6 月 30 日，華卓精科共擁有 198 項專利以及 1 項專利獨占權(quán)，其中包括發(fā)明專利 148 項，實用新型 43 項，外觀設計 2 項，美國專利 5 項。

因為朱煜是清華大學的長聘教授，華卓精科與清華大學存在較為密切的技術(shù)交流，合作上會稿寫道，華卓精科承接了清華大學原發(fā)技術(shù)積累，并在報告期內(nèi)委托清華大學進行了 65nm 雙工件臺關鍵技術(shù)測試開發(fā)項目

華卓精科與清華大學作為共同專利權(quán)人擁有的專利共計 162 項，其中協(xié)議轉(zhuǎn)讓方式獲取的專利 115 項，委托開發(fā)方式獲取的專利 30 項，合作研發(fā)方式獲取的專利 17 項，清華大學授權(quán)華卓精科獨占實施許可的專利 1 項。

華卓精科和清華大學共有專利，專利實施許可，技術(shù)轉(zhuǎn)讓情況

03. 研發(fā)團隊占比超 30%，2 名核心技術(shù)人員系清華兼職

華卓精科研發(fā)人員共有 133 人，占員工總數(shù)比例為 33.08%核心技術(shù)人員共有 7 人，分別為朱煜，張鳴，楊鵬遠，陳靜，張利，張豹和劉效巖，其中朱煜和張鳴為華卓精科原有核心技術(shù)人員

朱煜 2001 年于中國礦業(yè)大學獲機械設計及理論專業(yè)博士學位畢業(yè)后，朱煜曾先后于中國礦業(yè)大學和清華大學從事教學和博士后工作2004 年 10 月至今，朱煜為清華大學教授，也是科技部重點領域創(chuàng)新團隊負責人及國家 02 科技重大專項技術(shù)副總師此外，朱煜在全球擁有授權(quán)專利 227 項，其中發(fā)明專利 173 項，他還發(fā)表了 200 余篇論文，出版專著 2 本

2007 年和 2016 年，朱煜曾在北京七星華創(chuàng)電子和北方華創(chuàng)任獨立董事，2012 年 5 月至 2015 年 7 月，他任華卓有限董事長兼總經(jīng)理，2015 年 8 月至 2015 年 9 月，朱煜為華卓精科董事長，2015 年 9 月至今，他擔任華卓精科董事，首席科學家值得一提的是，朱煜也是國產(chǎn) CMP 廠商華海清科的股東，擁有華海清科 4.98% 的股份

華卓精科董事，首席科學家朱煜

張明 2005 年于清華大學獲機械工程專業(yè)博士學位1999 年 3 月至 2000 年 7 月，他在中國運載火箭技術(shù)研究院任助理工程師，2005 年 7 月，張鳴在清華大學任博士后，助理研究員，副研究員等職2017 年 8 月，張鳴任華卓精科技術(shù)顧問，2018 年 2 月起，他開始擔任華卓精科董事

張鳴曾參與過國家重大專項，973 計劃，863 計劃等 6 項國家級項目，發(fā)表論文 66 篇，其中 SCI 期刊收錄 17 篇目前，張鳴擁有國家授權(quán)專利 164 項，其中發(fā)明專利 147 項

當前朱煜，張鳴已取得清華大學兼職批復，作為兼職人員在華卓精科任職兩人也承諾，如果華卓精科順利上市，其將繼續(xù)向清華大學辦理兼職批復，繼續(xù)從事兼職工作，如果未能取得清華大學同意兼職的批復，則將從清華大學辦理離職手續(xù)并全職在華卓精科工作

華卓精科部分技術(shù)人員在清華大學任職情況

04. 朱煜實際控股比例過半

根據(jù)上會稿，朱煜直接持有華卓精科 35.72% 的股份，他還通過艾西科技和艾西博銳持有 5.45% 的股份而華卓精科的徐登峰，張鳴，楊開明，尹文生，胡金春，穆海華，成榮 7 名股東合計持有 13.06% 的公司股份，并于與朱煜保持一致行動關系所以朱煜實際控制的股份比例為 54.23%，是華卓精科的實際控制人和控股股東

此外，持有華卓精科股份比例超過 5% 的股東還有水木愿景和水木長風兩家公司，持股比例分別為 8.75% 和 6.78%華卓精科董事長吳勇為水木愿景，水木長風和吳勇本人推薦擔任

華卓精科股東名單

05. 結(jié)語:產(chǎn)學合作填補空白，需要面對多領域巨頭競爭

與此前過會的華海清科類似，華卓精科也是依托于清華大學的技術(shù)積累，并通過產(chǎn)學研用模式，將學術(shù)成果轉(zhuǎn)化為商用化產(chǎn)品，填補了我國光刻機工件臺這一半導體核心部件的空白。

因此，華卓精科如果能夠上市成功，對我國光刻機的國產(chǎn)替代有著積極意義但同時，華卓精科的產(chǎn)品業(yè)務較多，部分產(chǎn)品尚未規(guī)?；慨a(chǎn)，能否在這些已經(jīng)比較成熟的行業(yè)獲得成功仍需觀望